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日本朝日分光光學膜厚儀OMD-1000產品介紹

  • 發(fā)布日期:2022-03-02      瀏覽次數(shù):1644
    • 日本朝日分光光學膜厚儀OMD-1000產品介紹

      什么是 OMD-1000?

      這是一種分光膜厚監(jiān)測監(jiān)視器,可在氣相沉積過程中用單色光監(jiān)測基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置,作為蒸鍍部件制造商的專有技術,作為膜厚監(jiān)測裝置完成。

      概述

      全波長范圍

      以往機型的波長選擇是濾光片型,但新產品搭載了本公司業(yè)績良好的分光器,現(xiàn)在可以選擇任意波長。
      膜厚變化信號由電壓輸出轉為與個人電腦兼容的數(shù)字輸出,控制機構由手動操作轉為個人電腦指令控制。此外,通過I/F直接與個人電腦連接,可以控制膜厚計主體,是一個非常緊湊的系統(tǒng),不需要像其他制造商那樣的控制器。

      特征

      • 帶光譜儀的緊湊型設計

      • 通過提高抗噪性實現(xiàn)高度可靠的膜厚監(jiān)測(靜電放電測試耐壓±5 kV)

      • 可通過來自 PC 的命令進行自動控制

      • 通過將控制器集成到接收器主體中實現(xiàn)高性價比

      產品規(guī)格

      模型OMD-1000
      光譜儀類型Czerny Turner 型單色
      波長范圍保證范圍:380 至 900 nm 可操作
      范圍:350 至 1100 nm
      波長分辨率狹縫 0.5mm:4.2nm [546nm]
      狹縫 1.0mm:8.3nm [546nm]
      波長精度± 1.0 納米
      小波長饋電0.1nm
      外部控制RS232C
      外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
      采樣間隔100ms 或更多
      靜電放電試驗耐壓±5kV(實際8kV)
      光源12V100W鹵素燈
      光強度穩(wěn)定性±0.1%/小時以下
      輸入電壓AC100V 50 / 60Hz
      允許輸入電壓AC85-132V
      視在功率340VA以下
      使用環(huán)境溫度10-35℃
      濕度20-80%
      * 請注意,產品規(guī)格和外觀如有更改,恕不另行通知。



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