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可測量殘留氣體成分的真空檢測技術(shù)分析
SC-10智能真空計是我公司開發(fā)的一款全新的全自動真空計，既可以測量殘余氣體成分，又可以測量全壓真空?？倝赫婵斩葟某旱?0-7Pa的
超高真空，當總壓達到50Pa左右時，氣體組分自動開始分壓，測量從10-5Pa左右到10-6Pa霸是可以的?？梢栽诖殖閴悍秶鷥?nèi)測量氣體成分并進行泄漏檢查，這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。
?通過監(jiān)測殘留氣體成分，可以監(jiān)測真空設(shè)備的健康狀況，并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?可以測量真空度（全壓）和氣體成分（分壓）的單體。
智能真空計可測量殘留氣體的成分，讓您在抽真空過程中快速了解真空設(shè)備的健康狀況，如泄漏、水汽脫氣等。下面兩張圖是同一臺設(shè)備的不同抽氣數(shù)據(jù)，圖1是正常抽氣，水蒸氣是決定總壓真空度的主要成分，而圖2是因漏氣而使用氮氣。開始向下抽真空約5分鐘后停止，如果繼續(xù)抽真空，約10分鐘后氮氣超過水蒸氣，全壓真空度停止下降。通過使用智能真空計，您可以快速發(fā)現(xiàn)通過監(jiān)測總壓力真空無法檢測到的排氣異常及其原因。
使用智能真空計，您不僅可以知道是否有泄漏，還可以通過吹氦氣或吹氬氣找到泄漏的位置。圖3為Smart Vacuum Gauge Gauge當氬氣吹到泄漏點時的數(shù)據(jù)，可以看出由于氬氣增加，氮氣減少，這里出現(xiàn)了泄漏。堵漏后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，是典型的真空設(shè)備殘余氣體成分。
只需打開它并將其連接到您的 PC，無需其他操作。SC-10 內(nèi)置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓，當總壓達到約 50 Pa 時，將自動開始殘留氣體成分的測量（分壓測量）。
即使恢復(fù)到大氣壓力，氣體成分測量也會自動關(guān)閉，因此無需擔心。
